Hamamın yer aldığı vakfa ait olan Kadı Camii’nin 1543-44 yılında yapılması hamamında aynı dönemlerde yapıldığını düşündürmektedir. Tüm mekânları ile günümüze ulaşan hamam, herhangi bir işlev ile kullanılmamaktadır. Hamam, 2009- 2010 yılları arasında yapılan restorasyon ile kubbesi yenilenmiş, duvar yüzeyleri raspa edilmiş, derz dolguları yapılmış, döşeme düzgün bazalt taşı ile kaplanmış, özgün seki ve kurnalar kaldırılmıştır.
Hamamın güneyinde yer alan basık kemerli bir kapı ile avluya, avludan soğukluğa ulaşılır. Kareye yakın plâna sahip olan soğukluğun ortasında dairesel bir havuz bulunmaktadır. Soğukluk kubbesi pandantifle geçilen sekizgen kasnak üzerine oturtulmuştur. Diyarbakır’daki diğer hamamlardan farklı olarak hamamda kâgir fener yer alır. Soğukluğun kuzeyinde iki bölümden oluşan ılıklığa geçilir ve her iki ılıklık kuzey ve batı yönlerindeki nişlerle genişletilmiştir. İkinci ılıklığın güney yönünde basık kemerli bir kapı ile sıcaklığa girilir.