Osmanlı idaresinin Diyarbakır’daki ikinci valisi Beylerbeyi Deli Hüsrev Paşa tarafından yaptırılmıştır. Hüsrev Paşa 1521-1531 yılları arasında bu makamda bulunduğuna göre yapı bu tarihler arasında inşa edilmiş olmalıdır. Bina, planından da açık şekilde anlaşıldığı gibi aslında medrese (Hüsreviye Medresesi) olarak yapılmıştır. Fakat hayli büyük olan dershanesi mescid olarak da hizmet verdiğinden zamanla müstakil cami durumuna geçmiş ve 1141’de (1728-29) bir minare ilâve edilmiştir. Evliya Çelebi, 1065’te (1655) geldiği Diyarbakır’ın eserlerini anlatırken Hüsrev Paşa Camii’nin Mardin Kapısı yakınında kalabalık cemaate sahip şirin bir ibadet yeri olduğunu belirtir.
Hüsrev Paşa Medrese ve Camii, muntazam işlenmiş kırmızı ve beyaz kesme taşlardan meydana gelen şeritler halinde inşa edilmiştir. Sivri kemerli bir nişin içinde açılmış olan yayvan kemerli bir kapıdan geçilerek girilen dikdörtgen bir avlunun üç tarafında kare kesitli pâyeli revaklar sıralanmıştır. Sivri kemerli revakların on iki bölümünün üstleri kubbelerle örtülüdür. Bunların arkasında sağda ve solda her biri birer pencereden ışık alan kare şeklinde on hücre vardır. Kıble tarafının en ucunda yer alan birer hücre ise dikdörtgen planlıdır ve üstleri beşik tonozla örtülüdür. Bunlarla cami arasına yanlardakilerin ölçüsünde kubbeli birer hücre yerleştirilmiştir.
Avlu girişinin karşısında bulunan cami harimi enine dikdörtgen biçimindedir. Harimin orta kısmı iki yandan kemerlerle sınırlandırılmış olup üstü sekizgen kasnaklı bir kubbe ile, iki yanında kalan bölümler ise beşik tonozlarla örtülmüştür. Harimden bir kemerle ayrılan mihrap beş cepheli bir çıkıntı içindedir. Her cephesinde bir pencere bulunan bu sekizgen biçimli çıkıntının üstü dilimli bir tonoz şeklindeki yarım kubbe ile örtülmüştür. Böylece burada klasik Osmanlı-Türk mimarisinde pek benzeri olmayan bir plan uygulanmıştır. Buradaki gibi, kıble bölümü köşeli bir çıkıntı halinde harimden dışarı taşan plan özellikleri Tire’de Yeşil İmaret ve Edirne’de Beylerbeyi camilerinde de görülmektedir.
Enine harimle çıkıntılı kıble bölümünden meydana gelen benzer yapılar yine Diyarbakır’dadır. Vakfiyesine göre 904 (1499) yılında Akkoyunlular’dan Hoca Ahmed tarafından yaptırılan Ayni Minare Camii’nde böyle bir planla karşılaşılır. Yine Diyarbakır’da 941-944 (1534-1537) yılları arasında beylerbeyilik makamında bulunan Hadım Ali Paşa’nın yaptırdığı medresede dikdörtgen biçimli harim bulunmamakta, fakat beş cepheli çıkıntı teşkil eden kıble mekânı dilimli tonozyarım kubbesi ile avlunun bir kenarını işgal etmektedir. Avlunun iki yanında Hüsrev Paşa Camii’nde olduğu gibi hücreler sıralanır.
XVIII. yüzyılda yapılan silindirik gövdeli minare siyah taşla inşa edilmiş olup dört beyaz şeritle bölümlenmiştir. Üstte mukarnaslı şerefeye sahip olan minarenin gövdesine nisbetle aşırı ince olan petek kısmı daha geç bir döneme ait olmalıdır. Caminin iç süslemesinde ise çini kaplama kullanılmıştır.
Kaynak: İslam Ansiklopedisi